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蘇州愛拓利電子設備有限公司
MFC330
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蘇州市
MFC330 4600元 100只可售
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更新時間:2025-06-12 15:36:48瀏覽次數(shù):142次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線| 測量范圍 | 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm 0-1,2,5,10m3/h | 工作溫度 | -20~65℃(環(huán)境和氣體)℃ |
|---|---|---|---|
| 工作壓力 | 3 MPa(30bar)Mpa | 類型 | 其他 |
| 適用介質 | 氣體 |
自主研發(fā)氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構,即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
一、工作原理
流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量,通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理,處理后的信號采集進處理器芯片,再通過氣體流量 外標法和溫壓補償?shù)玫綔蚀_的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等,實現(xiàn)氣體流量的精準控制。
二、產品參數(shù)
2.1 基本參數(shù)
流量規(guī)格 | 5 、10 、20 、50 、100 、200 、300 、500SCCM 1 、2 、5 、10 、20 、30 、50SLPM |
準確度 | ±0.5%F.S. |
重復精度 | ±0.2%F.S. |
流量控制范圍 | 2%~1 00%F.S. |
使用溫度范圍 | -20~65℃ |
使用濕度范圍 | 0~98%(無凝露) |
耐壓 | 3MPa |
工作壓差 | 1MPa |
響應時間 | <1S |
供電電壓 | 15~40VDC |
功率 | <5W |
通訊方式 | CAN 、RS485 、RS232 、0~5VDC 、4~20mA |
氣路部件材質 | SUS304 、SUS316L |
密封件材質 | 氟橡膠 |
氣路接頭 | 快擰、快插、卡套、VCR |
啟動預熱時間 | 5min |
安裝方式 | 水平安裝 |
標準狀態(tài) | 溫度 20℃、氣壓:101.325KPa |
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