當前位置：河南弗萊爾儀器設備有限公司>>PECVD等離子化學氣相沉積系統(tǒng)>>小型PECVD系統(tǒng)

小型PECVD系統(tǒng)

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-10-13 09:35:55瀏覽次數(shù)：88次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  PECVD等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

河南弗萊爾儀器設備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：45條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

該型號PECVD為整體精簡款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂

詳細介紹

該型號PECVD為整體精簡款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，觸摸屏集中一鍵控制，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加*。

主要特點：

1. 管內(nèi)真空度自動平衡——管內(nèi)真空度實時監(jiān)測，自動平衡。PECVD工藝要求石英管內(nèi)真空度通常在0.1～100Pa之間，該型號PECVD的AIO控制系統(tǒng)會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設定的管內(nèi)真空度，使成膜效果達的均勻性。

2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；

3. 射頻功率的定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，自動運行；

4. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離，在沉積結束后爐膛可自動移開沉積區(qū)，使樣品快速冷卻；

5. 整機結構融為一體——整機長度只有1.5米，移動方便，避免分散組裝的困擾。

加熱爐部分
1	爐膛模式	開啟式可移動爐膛
2	顯示模式	7英寸觸摸屏
3	極限溫度	1200℃
4	工作溫度	≤1150℃
5	升溫速率	建議10℃/Min Max：30℃/Min
6	爐體移動	有，速度可調(diào)
7	單溫區(qū)長度	主溫區(qū)長度：200mm（可選配氣體預熱部分）
8	爐管規(guī)格	60*1150 mm
9	控溫精度	±1℃
10	密封方式	快速法蘭密封
11	溫度曲線	30段"時間—溫度曲線"任意可設
12	預存曲線	可預存15條溫度曲線
13	超溫報警	有
14	過流保護	有
15	斷偶提示	有
16	測溫元件	K型熱電偶
17	爐膛材料	氧化鋁纖維
18	外形尺寸	15006001000MM
	射頻電源功率
1	信號頻率	13.56 MHz±0.005%
2	功率輸出范圍	5W-300W
3	功率穩(wěn)定度	±0.1%
4	整機效率	>=70%
5	功率因素	>=90%
6	冷卻方式	強制風冷
	真空部分
1	功率	500W
2	抽氣速率	2Ls
3	極限真空	4X10^-2Pa
	氣路系統(tǒng)
1	1～3路質(zhì)量流量計可選（七星華創(chuàng)）
2	準確度：±1.5%
3	重復精度：±0.2%
4	工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
	整機系統(tǒng)特色
1	正壓測量	-100Kpa---100Kpa
2	真空測量	10^-2Pa～100Kpa（支持Ar測量）
3	正壓保護	支持
4	壓力恒定	支持
5	智能氣路	支持
6	氣路定時	支持
7	射頻工作時間設定	支持
8	移動速度調(diào)節(jié)	支持