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費勉儀器科技(上海)有限公司
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更新時間:2025-10-22 09:56:39瀏覽次數(shù):60次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線費勉儀器為超高真空復(fù)雜系統(tǒng)的樣品傳遞專門設(shè)計研發(fā)了圓形傳樣系統(tǒng),該腔體采用超高真空兼容材料SS316,形似UFO,側(cè)面連接口可以對接不同的子系統(tǒng),使樣品可以在真空環(huán)境下來回自由切換并進行原位測量。該傳樣系統(tǒng)機構(gòu)末端可實現(xiàn)長距離伸縮運動,(發(fā)明號:ZL 2015 1 0661875.0),同時機械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取。其結(jié)構(gòu)簡潔高效,使得成本降低、操作簡化,同時設(shè)計上注重不同超高真空......

| RDC820 | RDC520 | |
| 腔體內(nèi)徑 | 700mm | 550mm |
| 機械臂安裝法蘭 | CF200 | CF200 |
| 觀察口法蘭 | CF150 | CF100 |
| 對接法蘭 | CF100 | CF100 |
| 機械臂旋轉(zhuǎn) | 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) | 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 機械臂伸縮距離(伸出法蘭口) | 820mm | 520mm |
| 拓展能力 | 最多可連8個子系統(tǒng) | 最多可連6個子系統(tǒng) |
| 旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度 | <0.1° | <0.1° |
| 線性伸縮重復(fù)精度 | <1mm | <1mm |
| 烘烤溫度 | 120℃ | 120℃ |
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