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費勉儀器科技(上海)有限公司


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圓形傳樣系統(tǒng)

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更新時間:2025-10-22 09:56:39瀏覽次數(shù):60次

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產(chǎn)品簡介

費勉儀器為超高真空復(fù)雜系統(tǒng)的樣品傳遞專門設(shè)計研發(fā)了圓形傳樣系統(tǒng),該腔體采用超高真空兼容材料SS316,形似UFO,側(cè)面連接口可以對接不同的子系統(tǒng),使樣品可以在真空環(huán)境下來回自由切換并進行原位測量。該傳樣系統(tǒng)機構(gòu)末端可實現(xiàn)長距離伸縮運動,(發(fā)明號:ZL 2015 1 0661875.0),同時機械臂末端帶有樣品抓取頭用于樣品抓取。其結(jié)構(gòu)簡潔高效,使得成本降低、操作簡化,同時設(shè)計上注重不同超高真空......

詳細介紹

規(guī)格說明



RDC820RDC520
腔體內(nèi)徑700mm550mm
機械臂安裝法蘭CF200CF200
觀察口法蘭CF150CF100
對接法蘭CF100CF100
機械臂旋轉(zhuǎn)360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
機械臂伸縮距離(伸出法蘭口)820mm520mm
拓展能力最多可連8個子系統(tǒng)最多可連6個子系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度<0.1°<0.1°
線性伸縮重復(fù)精度<1mm<1mm
烘烤溫度120℃120℃

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