污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過(guò)濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過(guò)濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
上海沛沅儀器設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間：2025-11-02 12:21:17瀏覽次數(shù)：88次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線(xiàn)PLUTO-80是專(zhuān)為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶(hù)的靈活性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域PLUTO-80是面向大半導(dǎo)體市場(chǎng)工業(yè)級(jí)客戶(hù)與研發(fā)型客戶(hù)使用需求設(shè)計(jì)的等離子處理設(shè)備，適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛
環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，獲得高度均一化的處理效果。
光刻膠去除——去除表面殘膠，形成清潔、活化的表面。
密封前處理——經(jīng)由等離子活化樣品表面，提升塑封料的結(jié)合力，減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。
金屬鍵合前處理——通過(guò)等離子處理去除焊盤(pán)表面的金屬氧化層，提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結(jié)合力。
底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動(dòng)性，消除空洞與起泡，增強(qiáng)填充效果。
表面粗化與微蝕——消除表面盈利，使材料更易結(jié)合。
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