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美國(guó)Setra超高純壓力變送器美國(guó)西特225

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美國(guó)Setra超高純壓力變送器美國(guó)西特225

詳細(xì)介紹

Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長(zhǎng)期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。

GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu),用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外,該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。GCT-225

系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型,可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。

GCT-225 系列壓力變送器采用Setra 的可變電容技術(shù),配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí),隔膜會(huì)變得略圓,使電容減小。傳感器將檢測(cè)到電容變化,并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號(hào)。Setra 的定制集成電路采用的電荷平衡原理制成,幾乎不受EMI/RFI 干擾。

在制造和裝配完成后,Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾?、烘干、雙層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚?,最后才發(fā)貨。

注:Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性,美國(guó)號(hào)。

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用,安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

規(guī)格

性能參數(shù)

物理參數(shù)

電氣參數(shù)(電壓)

精度RSS1(恒溫下)

±0.25%FS

殼體

不銹鋼

電路

3線(COM,OUT,EXC)

非線性(擬合直線)

±0.15%FS

電氣連接

6英尺/1.8米多芯電纜,4

針頭卡口接頭

輸出4

0~5VDC或0.2~5.2VDC5

0~10VDC或0.2~10.2VDC5

遲滯

0.20%FS

溫度影響2

壓力接口

#4外螺紋/內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭,1/4NOT外螺

紋接頭或管接頭

激勵(lì)

5VFSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC

10VFSO(滿量程輸出)時(shí)為13-30VDC

溫度補(bǔ)償范圍

-9~65℃

零點(diǎn)/滿程漂移

1.8%(%FS/50℃)

輸出電阻

10Ω

暖機(jī)(預(yù)熱)偏移

總計(jì)為0.1%FS

通氣

通過外殼

段及偏移

總誤差±0.1%FS

泄漏試驗(yàn);使用質(zhì)譜儀進(jìn)行1×10-9ATM

.CC/sec級(jí)別的氨滲漏試驗(yàn)

內(nèi)腔體積

0.11in3

功耗

0.03W

接液部件

VIM/VAR316L不銹鋼,電解

拋光至7Ra(10Ra)

電氣參數(shù)(電流)

壓力介質(zhì)

電路

2線

與316L不銹鋼兼容的液體或氣體

重量

約113g

輸出6

4~20mA7

認(rèn)證

環(huán)境參數(shù)

外部負(fù)載

0-800Ω

不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證;

工作溫度3

-40℃+85℃

最小供電

電壓(VDC)

10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻)

存放溫度

-40℃+85℃

北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/ISA

-12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū)

A.B.C.D組成危險(xiǎn)區(qū)域(選擇N1選項(xiàng))

電流輸出型(訂購(gòu)N1選項(xiàng)時(shí))

-30℃+80℃

(工作/儲(chǔ)存溫度)

供電電壓(VDC)

30+0.004x(接收器附加導(dǎo)線電阻)

功耗

﹤0.9W

歐洲;可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/CE2區(qū)認(rèn)證或EN60079-15;2010 11 3G EX nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證

(選擇N1選項(xiàng))

1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的RSS值(方和根)

2. 產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,溫度影響誤差由此書記計(jì)算.

3. 電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。

4. 采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)數(shù)≥5KΩ時(shí)工作

5. 零點(diǎn)(滿量程)輸出:對(duì)于5VDC電源,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi);對(duì)于10VDC電源,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)

6. 出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,24VDC電源。

7. 零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi),滿量程輸出的出廠設(shè)置在±0.16mA以內(nèi)。

 

關(guān)鍵詞:壓力變送器 質(zhì)譜儀
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