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CMP過濾

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更新時(shí)間:2026-02-21 11:31:23瀏覽次數(shù):43

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CMP過濾 CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化學(xué)機(jī)械拋光—是一個(gè)化學(xué)腐蝕和機(jī)械摩擦的結(jié)合。CMP技術(shù)所采用的設(shè)備及消耗品包括:拋光機(jī)、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)檢測(cè)及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測(cè)設(shè)備等。拋光機(jī)、拋光漿料和拋光墊是CMP工藝的3大關(guān)鍵要素,其性能和相互匹配決定CMP能達(dá)到的表面平整水平。其......

詳細(xì)介紹

材料結(jié)構(gòu) 操作條件 過濾精度(um)
濾材: 進(jìn)口非對(duì)稱聚醚砜膜
內(nèi)芯: 聚丙烯
外罩: 聚丙烯
端蓋: 聚丙烯
墊片/O型圈: 硅橡膠、三元乙丙、氟橡膠、包四氟
密封技術(shù): 熱熔焊接
工作溫度:≤80℃
可耐壓差:4 bar (21℃)/2.4bar (80℃)
滅菌方法:121℃/30min蒸汽滅菌

0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20

有效過濾面積

≥0.65 m2/10〞

生物安全性 濾芯尺寸 完整性測(cè)試
內(nèi)毒素:≤0.25EU/ml
溶出物:≤30mg/10〞
外徑: 68mm
長度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞
起泡點(diǎn)測(cè)試(純水)
0.10um≥4.0bar
0.22um≥3.4bar
0.45um≥2.3bar
應(yīng)用領(lǐng)域

電子行業(yè):超純水制備終端過濾、半導(dǎo)體濕設(shè)備終端過濾、水性油墨終端過濾、電子試劑終端過濾。
制藥行業(yè):注射用水、大輸液(LVP)、小針劑(SVP)、凍干粉針、生物制品、、抗生素等除菌過濾。
食品行業(yè):純生啤酒、葡萄酒、純水、礦泉水等除菌過濾。


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