功能：
- 可處理高達(dá)8英寸的晶圓，包括未安裝的晶片以及膠帶環(huán)形和薄膜框架安裝晶片。
- 振蕩高壓直流水，風(fēng)扇射流組裝(取決于高達(dá)1500或2000磅/平方英寸 配置上)或霧化噴霧噴嘴，高效清潔。
- 快速有效干燥的氮?dú)獯祾吆脱h(huán)結(jié)束時的氮晶片提升。
- 微處理器控制并儲存多種配方。
- 直流無刷主軸電機(jī)變速。
- DI水凈化，營造無細(xì)菌系統(tǒng)。
- 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和正極蓋，運(yùn)行期間鎖定。
選項：
- 托盤，大可裝載8英寸晶片
- 用于干燥的紅外線加熱燈
- 消除靜電的二氧化碳再生離子器
- 內(nèi)置排氣鼓風(fēng)機(jī)
- 真空發(fā)生器
產(chǎn)品參數(shù)：
- 產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
- 型號：SCS112
- 可用機(jī)械臂：1
- 大基板尺寸：高達(dá)8英寸的晶圓片
- 大主軸速度：2500
- 配方：多3
- 分配：1
- 尺寸：26英寸寬x 21英寸深x 40英寸高
- 重量：約200磅
- 功率：220伏交流電，10安培，50/60赫茲
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手動型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б?，它經(jīng)過驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過程參數(shù)，并儲存多達(dá)10個程序。
功能：
- 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
- 主軸組件帶有直流無刷電機(jī)（可升級以獲得更多功能）。
- 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。
- 徑向排氣腔，可實(shí)現(xiàn)大層流。
- 獨(dú)立式聚丙烯腔室。
- 微處理器可控制10個程序段。
- 內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
- 按鈕蓋啟動 打開/關(guān)閉。
- 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯誤報告。
- 多可使用2個機(jī)械臂。
產(chǎn)品參數(shù)：
- 產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
- 型號：SCSe124
- 可用機(jī)械臂：2
- 大基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
- 大主軸速度：2500
- 配方：多10
- 分配：12
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手動型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б妫?jīng)過驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過程參數(shù)，并儲存多達(dá)10個程序。
功能：
- 可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
- 主軸組件帶有直流無刷電機(jī)（可升級以獲得更多功能）。
- 可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。
• 徑向排氣腔，可實(shí)現(xiàn)大層流。
• 獨(dú)立式聚丙烯腔室。
• 微處理器可控制10個程序段。
• 內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
• 按鈕蓋啟動 打開/關(guān)閉。
• 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯誤報告。
• 多可使用4個機(jī)械臂。
?產(chǎn)品參數(shù)：
- 產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
- 型號：SCSe126
- 可用機(jī)械臂：4
- 大基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
- 大主軸速度：2500
- 配方：多10
- 分配：12
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