一．設(shè)備簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體 超純水設(shè)備 是應(yīng)用 于半導(dǎo)體 生產(chǎn) 零件 清洗 的超純水設(shè)備 ，需要 符合 特定 的用水 水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) ,半導(dǎo)體 超純水設(shè)備 出水 水質(zhì) 要符合 美國(guó) ASTM 純水 水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 、中國(guó)電子 工業(yè)電子級(jí)水質(zhì) 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) (18 MΩ.cm 、15 MΩ.cm 、10 MΩ.cm 、2MΩ.cm 、0. 5M Ω.cm )、半導(dǎo)體 工業(yè)用 純水 指標(biāo) 、集成電路 水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn) 。 

宏潔 水務(wù) 在滿足用戶 用水 標(biāo)準(zhǔn) 的基礎(chǔ) 上，在設(shè)備 系統(tǒng) 中水箱均設(shè)有 液位 控制系統(tǒng) 、水泵 均設(shè)有 壓力 保護(hù)裝置 、在線 水質(zhì)檢測(cè) 控制儀表、電氣 采用 PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守 ，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求 的方法 ，使設(shè)備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較 ，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性 。

二．設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) 及依據(jù)

1.根據(jù)用戶供的詳細(xì)水質(zhì)報(bào)告 量身定制 ”。

2.水處理設(shè)備技術(shù)條件 《NB/T 10790-2021 》

3.反滲透水處理設(shè)備標(biāo)準(zhǔn) 《GB/T 19249-2017》

4. 低壓開(kāi)關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備成套裝置 《IEC439-1》

5. 實(shí)驗(yàn)室超純水技術(shù)指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn) 《GB6682 -2008 》

6.電子級(jí)超純水規(guī)格 《GB/T 11446.1-2013 》

三．工藝流程

原水－原水箱－原水加壓泵 －絮凝劑/還原劑－活性炭過(guò)濾器 － 超濾－阻垢劑－保安過(guò)濾器－一級(jí)高壓泵－一級(jí)反滲透－PH 調(diào)節(jié)－中間水箱 －二級(jí)高壓泵－二級(jí)反滲透 －純化水箱－EDI增壓水泵-紫外燈殺菌器－精密過(guò)濾器－EDI系統(tǒng)－超純水箱－終端輸送泵－TOC脫除器－拋光裝置－終端濾器－用水點(diǎn)

目前市場(chǎng)上的工藝根據(jù)原水水質(zhì)和用水水質(zhì)要求不同，所用工藝也有所不同。

超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝介紹：

滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、雙級(jí)RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、EDI或離子交換混床系統(tǒng)等。

四．設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1.系統(tǒng)采用全自動(dòng)控制 (同時(shí)亦可采用手動(dòng)控制 ），系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)可設(shè)定自動(dòng)反洗、再生程序 ；

2.各單元接線均在工廠內(nèi)完成 ，減少安裝調(diào)試 時(shí)間 ；

3.一級(jí) 反滲透和二級(jí)反滲透設(shè)有回流管道 ，反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置 ；

4. 管道一般采用304不銹鋼和UPVC材質(zhì) ；

5. 集成控制系統(tǒng) 和集成 儀表系統(tǒng)等，方便操作管理 ；

6.部件更加耐用，長(zhǎng)期無(wú)需維修；