TF-LFA 熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀
薄膜的完整熱性能表征
薄膜的熱物理性質(zhì)在熱電材料、相變存儲(chǔ)器、發(fā)光二極管、燃料電池和光存儲(chǔ)介質(zhì)以及半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域中變得愈發(fā)重要，因此精確測(cè)量薄膜的熱物理性質(zhì)至關(guān)重要。林賽斯 TF-LFA 熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀是一種在頻域內(nèi)對(duì)薄膜熱性能進(jìn)行非接觸表征的測(cè)量設(shè)備，可精確測(cè)量薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)、熱擴(kuò)散系數(shù)等重要參數(shù)。
不同類型的薄膜
- nm 到 µm 級(jí)的層狀膜
- 生長在特定基底上的薄膜
- 多種不同功能的膜：包括半導(dǎo)體膜（如熱電、傳感器、晶體管）、金屬膜（用作觸點(diǎn)）、隔熱涂層、光學(xué)膜
- 典型的生長技術(shù)包括：PVD（例如：濺射、熱蒸發(fā)）、 CVD（PECVD，LPCVD，ALD）、 滴涂、旋涂 & 打印
測(cè)量特性
- 導(dǎo)熱系數(shù)
- 熱擴(kuò)散系數(shù)
- 界面熱阻
- 傳熱效率
- 體積熱容
