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ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列

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公司名稱無錫市三環(huán)儀器有限公司
品牌
型號
所在地無錫市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/11/13 9:37:14
訪問次數(shù)100

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無錫市三環(huán)儀器有限公司專業(yè)從事紡織工業(yè)檢測、太陽能光伏、半導(dǎo)體、石油化工、平面顯示、集成電路、光纖制造、各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界的MFC，品牌有：Brooks、MKS、UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計(jì)/真空規(guī)、四極質(zhì)譜儀、壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。紡織工業(yè)事業(yè)部專業(yè)從事紡織測試儀器的研發(fā)與銷售，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于紡織、印染、服裝、皮革、化工、印刷、材料等行業(yè)的顏色管理、品質(zhì)檢測、實(shí)驗(yàn)室打樣等。涉及GB、ISO、ASTM、AATCC、BS、EN、DIN、JIS等標(biāo)準(zhǔn)，涵括各種紡織材料的強(qiáng)力、色牢度、縮水率、透氣、阻燃、耐磨、起球性能等測試儀器一百余種。產(chǎn)品已廣泛用于全國各大質(zhì)檢科研機(jī)構(gòu)及廣大紡織、印染、服裝企業(yè)，并遠(yuǎn)銷美國、德國、日本、巴基斯坦、印度、越南、孟加拉、澳大利亞等國家。同時(shí)特許經(jīng)銷AATCC、SDC、ISO、JIS等國際標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)耗材，為客戶提供了實(shí)驗(yàn)室整體解決方案，深受客戶好評！同時(shí)簽約的有：美國x﹒rite、美國whirlpool、英國VeriVide、瑞士mettler Toledo荷蘭PHILIPS等。創(chuàng)新、生命之元，誠信、始能為亨，質(zhì)量、銳意求超，效益、共濟(jì)利群。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

量程10SCCM-3000SLPM，優(yōu)于2%的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100ms響應(yīng)時(shí)間，適用于高壓應(yīng)用 21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320psia）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)

ALICAT 高壓氣體質(zhì)量流量控制器 21Q系列產(chǎn)品信息

量程10 SCCM-3000 SLPM，優(yōu)于2 %的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間，適用于高壓應(yīng)用

21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯

● 半導(dǎo) 體 ● 汽車制造

● 光伏 ● 燃料電池

● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色

● 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

● 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

● 耐用。21Q系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護(hù)。

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取值）

測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程

重復(fù)性 ± 0.1%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃溫差

± 0.1 %讀數(shù)/ Atm壓力差

性能指標(biāo)

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）

測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程

顯示流量高達(dá)128%滿量程（取決于氣體）

可控流量 102.4%滿量程

顯示屏帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精度 ± 2%滿量程精度升級見上段

重復(fù) 性 ± 2%滿量程

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時(shí)間＜1s

標(biāo)定工況 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至100℃）

溫度精度 ± 0.75℃

工作濕度 0 ~ 99%

工作壓力 320 psia

滿量程壓損參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號40Hz@19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）

供電電流 0.250 A

電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏）選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材質(zhì) 303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯(lián)系我們。

過程連接詳情參考壓損表

安裝方式對位置無要求

防護(hù)等級 IP40

認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

選項(xiàng)配件

（需另行訂購）

● 過程端口接頭和過濾器

● 電源

● 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

● BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

● Flow Vision軟件

包裝清單

● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）

● NIST可溯源校準(zhǔn)證書

● 艾里卡特操作說明書

尺寸詳圖

21Q尺寸圖.png

尺寸壓損

滿量程質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損（PSID）排氣到大氣中	機(jī)械尺寸¹	過程連接²
10 SCCM ~ 50 SCCM	1.0	4.4''H x 3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）
100 SCCM ~ 500 SCCM	1.0	4.6''H x 3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋
1 SLPM	1.5
2 SLPM	3.0
5 SLPM	2.0
10 SLPM	5.5
20 SLPM	20.0
50 SLPM	9.0	5.7''H x 7.7''W x 2.3''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
100 SLPM	2.6	5.7''H x 7.7''W x 2.3''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
250 SLPM	4.6	6.0''H x 7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 內(nèi)螺紋
500 SLPM	6.5	6.0''H x 7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 內(nèi)螺紋（A 1-1/4” NPT 內(nèi)螺紋可選過程連接可用于2000 slpm 流量計(jì)）
1000 SLPM	14.0
1500 SLPM	17.0
2000 SLPM	28.6	6.0''H x 8.1''W x 2.9''D
3000 SLPM	16.8	6.0''H x 8.9''W x 2.9''D	1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
注1、公制數(shù)據(jù)見圖紙； 2、與Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可根據(jù)要求連接VCR和SAE。 3、與M-5 （10-32）外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭一起裝箱。