檢漏方法通常有兩種:一種是氣溶膠光度計檢漏法;另一種是塵埃粒子計數(shù)器(OPC)檢漏法。檢漏包括濾材、過濾邊框和支撐架等在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。檢測時,在過濾器的上風向注入氣溶膠,在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,或在風管中的過濾器下風向采樣。(1)氣溶膠光度計檢漏法①進行已裝過濾器檢漏前,應完成風速合格性檢測。②檢測時,需在過濾器的上風向注入特殊材質(zhì)的氣溶膠樣品。DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)是早使用的一種氣溶膠樣品,距今已有50年歷史,但由于其致癌作用,逐漸被PAO(聚a烯烴)取代。電子廠房潔凈度測試
PAO屬于四類合成基礎(chǔ)油,它是常用的合成潤滑油基礎(chǔ)油,具有良好的黏溫性能和低溫流動性。目前,制藥工業(yè)已*采用PAO-4(運動黏度4mm2/s),同時也是通用氣溶膠光度計測試的氣溶膠樣品,發(fā)生濃度為(10~100)μg/L,濃度低于20μg/L時檢漏的靈敏度欠佳,高于80μg/L時,濃度過高會污染過濾器。③按規(guī)定的掃描速度移動采樣頭往復掃描,采樣速度為15cm/s。采樣頭距過濾器出風面和框架結(jié)構(gòu)約3cm,應掃遍過濾器的整個出風面、過濾器周邊、邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點。④當氣溶膠光度計下游顯示讀數(shù)超過0.01%時,持續(xù)停留測量一段時間,選取大讀數(shù)位置判定為泄露位置。(2)塵埃粒子計數(shù)器檢漏法塵埃粒子計數(shù)器檢漏法通常用于設(shè)施不允許有油基揮發(fā)性檢測氣溶膠,或推薦使用固體氣溶膠的場合。電子工業(yè)常用該方法進行過濾器檢漏。①檢測時需在過濾器的上風向注入特殊材質(zhì)的氣溶膠樣品,可選用PSL標準物質(zhì),數(shù)量中值粒徑為(0.1-0.5)μm。②檢測時,在過濾器的潔凈側(cè)掃描,掃描速度保持5cm/s,發(fā)現(xiàn)計數(shù)多于采樣時間內(nèi)可接受的觀測計數(shù)時,可能存在滲漏。采樣頭移至計數(shù)大的地方,復測計數(shù)多于靜止時間內(nèi)合格的觀測計數(shù),則表明滲漏。電子廠房潔凈度測試













