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真空機(jī)組的四種分類 我有新說法
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真空機(jī)組一般根據(jù)主泵的類型來命名,然后可根據(jù)產(chǎn)品特點(diǎn)來進(jìn)行分類,如含油真空機(jī)組與無油真空機(jī)組;更常見的,是按真空應(yīng)用范圍來,可分為低真空機(jī)組、中真空泵機(jī)組、高真空機(jī)組及超高真空機(jī)組。

1低真空機(jī)組:

工作壓力高、排氣量大,多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機(jī)真空脫氣等。低真空機(jī)組常用的主泵,容積式真空泵中的往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機(jī)械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以勝任,但根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件,需配置除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設(shè)施。

2中真空機(jī)組:

適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統(tǒng)中,如鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理及醫(yī)藥化工、電工焊接等行業(yè)。以往中真空機(jī)組由羅茨真空泵+油封機(jī)械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿真空泵這樣的無油真空泵的興起,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機(jī)組也逐漸增多,適應(yīng)性更廣。

3高真空機(jī)組?:

工作于分子流狀態(tài)下,工作壓力區(qū)間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情況下主泵由擴(kuò)散泵、分子泵、鈦升華泵以及低溫冷凝泵等來承擔(dān),由于它們無法直接在大氣下工作,因此必須配置前級(jí)泵、預(yù)抽泵等,特殊情況下為防止氣壓波動(dòng)還需要配置維持泵與儲(chǔ)氣罐等。

4超高真空機(jī)組:

工作壓力區(qū)間在10-6~10-10Pa,需要主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作壓力區(qū)間內(nèi)保證相應(yīng)的抽速,如濺射離子泵、渦輪分子泵等,而且對(duì)系統(tǒng)組成的材料要求能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率等。

參考資料

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